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光刻膠拋光液超高速分散機(jī)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計，將膠體磨和分散機(jī)一體化的設(shè)備，膠體磨磨頭+分散盤定轉(zhuǎn)子，先研磨后分散效果更佳。
